SK하이닉스가 반도체 공정에 인공지능(AI) 솔루션을 도입해 생산 운영의 효율과 수율 개선에 나섰다.
SK하이닉스는 지난해 12월부터 가상 계측 AI 솔루션 ‘판옵테스 VM’을 양산 팹(공장)에 도입해 사용하고 있다고 10일 밝혔다. 이는 산업 AI 전문 스타트업 가우스랩스가 출시한 소프트웨어 제품이다. 이 회사는 지난해 11월 SK하이닉스가 투자한 곳이다.
판옵테스 VM은 제조 공정 결과를 센서 데이터를 활용해 예측하는 가상 계측 AI 솔루션이다. 제조 공정 중 일어나는 모든 일을 모니터링한다.
우선 해당 솔루션을 박막 증착 공정에 도입했다. 박막 증착 공정은 웨이퍼 위에 박막을 씌우는 제조 핵심 공정이다. 박막의 두께와 굴절률은 반도체의 품질과 직결된다. 하지만 미세한 박막에서 이를 계측하는 과정에 많은 시간과 자원이 소요돼 전수 계측하기가 매우 어렵다.
이를 해결하기 위해 박막 증착 공정에 판옵테스 VM을 도입했다는 게 회사 측 설명이다. 이를 통해 공정 산포(생산된 제품의 품질 변동 크기) 평균 21.5% 개선 및 수율까지 향상되는 효과를 얻었다.
향후 SK하이닉스와 가우스랩스는 박막 증착 공정 외 다른 공정에도 판옵테스 VM 도입을 검토하고 있다.
김영식 SK하이닉스 제조·기술 부사장은 “가우스랩스와 협력을 통해 한층 지능화한 스마트팩토리 구현에 힘쓰고 있다”며 “반도체 개발 및 생산 전반에 AI 기술을 접목해 기술 우위를 지속 확보해 나갈 것이고, 이번 판옵테스 VM 도입은 시작일 뿐”이라고 밝혔다.
SK하이닉스는 지난해 12월부터 가상 계측 AI 솔루션 ‘판옵테스 VM’을 양산 팹(공장)에 도입해 사용하고 있다고 10일 밝혔다. 이는 산업 AI 전문 스타트업 가우스랩스가 출시한 소프트웨어 제품이다. 이 회사는 지난해 11월 SK하이닉스가 투자한 곳이다.
판옵테스 VM은 제조 공정 결과를 센서 데이터를 활용해 예측하는 가상 계측 AI 솔루션이다. 제조 공정 중 일어나는 모든 일을 모니터링한다.
우선 해당 솔루션을 박막 증착 공정에 도입했다. 박막 증착 공정은 웨이퍼 위에 박막을 씌우는 제조 핵심 공정이다. 박막의 두께와 굴절률은 반도체의 품질과 직결된다. 하지만 미세한 박막에서 이를 계측하는 과정에 많은 시간과 자원이 소요돼 전수 계측하기가 매우 어렵다.
이를 해결하기 위해 박막 증착 공정에 판옵테스 VM을 도입했다는 게 회사 측 설명이다. 이를 통해 공정 산포(생산된 제품의 품질 변동 크기) 평균 21.5% 개선 및 수율까지 향상되는 효과를 얻었다.
향후 SK하이닉스와 가우스랩스는 박막 증착 공정 외 다른 공정에도 판옵테스 VM 도입을 검토하고 있다.
김영식 SK하이닉스 제조·기술 부사장은 “가우스랩스와 협력을 통해 한층 지능화한 스마트팩토리 구현에 힘쓰고 있다”며 “반도체 개발 및 생산 전반에 AI 기술을 접목해 기술 우위를 지속 확보해 나갈 것이고, 이번 판옵테스 VM 도입은 시작일 뿐”이라고 밝혔다.
SK하이닉스가 개발한 238단 낸드플래시[사진=SK하이닉스]
